標(biāo)準(zhǔn)配置

溫度范圍

4K-300K

工作環(huán)境

<1×10-3Pa

光學(xué)真空外罩

可定制

頂部快拆

緊湊/非緊湊

防熱屏蔽層

安裝溫度計(jì)的防輻射屏

光學(xué)窗口

光窗數(shù)量

標(biāo)準(zhǔn)4個(gè)

頂部擴(kuò)展1個(gè)

光窗材質(zhì)

石英

光窗直徑

25mm

樣品形式

薄膜或粉末

樣品環(huán)境

真空

普通鍍金樣品臺

光學(xué)樣品臺

完全定制（1個(gè)）

電學(xué)樣品臺

完全定制（1個(gè)）

普通電學(xué)樣品卡

電學(xué)樣品卡

完全定制（5個(gè)）

閥門

抽口閥門

1個(gè)

安全閥門

1個(gè)

破空閥門

1個(gè)

6針電學(xué)真空接頭

用于連接控溫儀

3個(gè)可選電學(xué)接口

1-19芯

可選配置

電學(xué)接口

SMA

BNC

TRB

頂部擴(kuò)展窗口

垂直光窗

其他材質(zhì)窗口

氟化鈣

藍(lán)寶石

硒化鋅

低漏電接口

100fA

低溫恒溫器主體

低溫制冷機(jī)冷頭

最低溫度

<3.5K

制冷量（50Hz）

一級

二級

50W@43K

1.3W@4.2K

降溫時(shí)間（二級）

<60min（4.2K）

重量

冷頭

壓縮機(jī)

20kg

118kg

對接壓縮機(jī)

KDC6000V

功耗50Hz

穩(wěn)態(tài)

降溫

6.5kW

7.2kW

冷卻方式

水冷

水冷卻流量

7~10L/min

標(biāo)準(zhǔn)軟管

20A×20m

維護(hù)周期

10000h

氦壓縮機(jī)

電源要求

380,400V@50Hz 3P 480V@60Hz 3P

氦氣純度

＞99.999%

冷卻方式

水冷

水流量

7L~10L/min（25℃）

冷卻水溫度

進(jìn)口

出口

5~25℃

<44℃

功耗50Hz

穩(wěn)態(tài)

降溫

6.5kW

7.2kW

壓力范圍（運(yùn)行）

排氣

回氣

16.6~23bar

2.8~6.9bar

環(huán)境溫度要求

運(yùn)行

儲存

4~40℃

-20~65℃

相對濕度

運(yùn)行

儲存

30%-70%

10%-90%(不結(jié)露)

環(huán)境壓力要求

運(yùn)行

儲存

70kPa~110kP

20kPa~110kPa

對接標(biāo)準(zhǔn)軟管

20A×20m

維護(hù)周期

30000h

重量

118kg

溫度計(jì)

測溫范圍

1.4K-500K

溫控儀

溫度輸入數(shù)量

2，2通道獨(dú)立輸入

控溫通道

1

溫度下限

300mK

水冷機(jī)

Integrative

分體機(jī)

制冷量

8000W @25℃

控溫方式

啟停式

冷卻方式

壓縮機(jī)制冷

控溫精度

±1℃

控溫范圍

5~35℃

額定流量(L/min@Bar)

25@3.5

最大壓力

4.3bar

水箱容積

90L

制冷劑

R410A

外形尺寸(室內(nèi)機(jī))

430X635X940(寬x深x高)

外形尺寸(室外機(jī))

865x310x710(寬x深x高)

蒸發(fā)器類型

不銹鋼盤管

水槽材質(zhì)

SUS304不銹鋼水箱

接口尺寸

Rp1

電源要求

220V/380V，50Hz

電功率

4.3/3.3KW

分子泵

接口法蘭

DN100 CF

抽氣速率L/S(對空氣)

110

壓縮比

＞108（N2）

5×102（H2）

極限壓強(qiáng) (Pa)

6×10-7

建議啟動壓強(qiáng)（Pa）

＜100

輸入電壓頻率(V/Hz)

220±20/50

前級泵型號

RV4（標(biāo)配）

冷卻方式

風(fēng)冷、水冷

冷卻水壓力(MPa)

0.1-0.2

冷卻水溫度(℃）

≤25

冷卻水流量（L/min）

>1

安裝方式

垂直

環(huán)境溫度 (℃)

5～40

長×寬×高（mm）

500×510×685

重量（kg）

52